作者：郭彦,庞振江,王于波,郭海平,王峥,王海宝 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018020090 DOC编号：DOCCGJS2018020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 阐述了灵敏方向垂直于芯片表面的Z轴TMR传感器的设计方法，并通过溅射镀膜及刻蚀工艺，在芯片表面电镀厚度、宽度、间距分别为为10μm、10μm、15μm的Ni Fe聚磁层，研制出了Z轴灵敏的TMR传感器。通过实际测试，该方法制备的传感器在电源电压为5 V时，灵敏度达到了5 m V/Oe，证明了该设计方法的正确性。利用所研制的Z轴TMR传感器，构建了闭环电流检测模块，电流测量范围为0~100 A，测量误差小于0.3%。

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