作者：王颖 单位：中国电子器材总公司 出版：《中国电子商情(基础电子)》2018年第10期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZSQ2018100030 DOC编号：DOCDZSQ2018100039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传感器作为与外界环境交互的重要手段和感知信息的主要来源，已成为决定未来信息技术产业发展的核心与基础之一。MEMS传感器更是因其体积小、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成，更灵活高效等优点，正在逐渐取代传统机械传感器，成为核心关键技术，在消费电子产品、汽车、工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域得到广泛应用。&quot；几年前，智能手机走进千家万户，M E M S传感器在智能手机中得到了广泛应用，

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