作者：肖珊珊,洪利,姚振静,韩智明,李亚南 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018110370 DOC编号：DOCYBJS2018110379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 电容式加速度传感器的弹性元件在不同温度条件下存在不同形变，导致传感器的零输入响应产生变化，影响了系统的线性特性。为此，采用ANSYS对加速度计的机械敏感模块进行了温度场的有限元分析，对极板位移与温度进行数学建模，进而提出了一种针对实时温度的非线性补偿控制方式。仿真验证结果表明：该方法能够有效降低温度对系统造成的影响，对于零漂的输出误差降低49.93%，并保证了系统在不同频段工作输出的稳定性，这也为电容式加速度传感器的性能改进提供了一种思路。

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