作者：孙浩诚 单位：中国科技信息研究所 出版：《通讯世界》2018年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTXSJ2018081460 DOC编号：DOCTXSJ2018081469 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了静电驱动的原理和优势，综述了静电力驱动在微机械陀螺、谐振式加速度传感器和谐振式压力传感器近年来的研究现状。最后指出了静电力驱动现阶段存在的问题并提出了解决方案。

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