作者：李慧鹏,唐若祥,吕亚宁,孙业飞 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2018年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2018010300 DOC编号：DOCBDTG2018010309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统，极大地矫正了压电陶瓷的非线性。设计了高精度的位移检测电路，实时采集电容传感器的电容量并转换成数字信号反馈给DSP，形成位移信息的闭环。结合带有前馈补偿的PID闭环控制策略，矫正压电陶瓷的非线性特性，进而实现微位移系统精密定位。对设计研制的微位移系统进行试验测试，结果表明：位移检测电路的电容分辨率可达0.000 1pF，微位移系统定位精度优于5nm，校正后迟滞误差低于1.0%。

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