作者:盛伟光,谭晓兰,张久超 单位:中国微米纳米技术学会;天津大学 出版:《Nanotechnology and Precision Engineering》2016年第05期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFNMJM2016050110 DOC编号:DOCNMJM2016050119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作》PDF+DOC2016年第01期 张久超,谭晓兰,康杰 《P(VDF-TrFE)纳米纤维薄膜的柔性压力传感器》PDF+DOC2012年第02期 任广义,蔡凡一,郑建明,徐春叶 《基于SnO_2-CuO纳米纤维的薄膜型H_2S传感器研究》PDF+DOC 胡明江,王忠 《静电纺纳米复合纤维在气体传感器中的应用研究进展》PDF+DOC2016年第06期 杨春宇,陈思浩,楼建中,王继虎,朱同贺,徐刚,陈志昌,周超,马小彪 《静电纺丝纳米纤维的制备与应用》PDF+DOC2017年第01期 刘力菲,李伟,黄潇楠 《Cr掺杂ZnO纳米纤维的低温氧敏性能》PDF+DOC2013年第S1期 欧刚,贾秋阳,刘巍,姚蕾,潘伟 《静电纺丝纳米纤维的应用进展》PDF+DOC2011年第17期 李岩,仇天宝,周治南,徐小燕 《LaFeO_3纳米纤维的制备及其气敏特性研究》PDF+DOC2010年第S1期 徐秀娟,范会涛,吕宁,张彤 《电纺纳米纤维的研究及应用》PDF+DOC2008年第03期 李婷婷,舒红英,徐佩 《NaNbO_3纳米纤维的可控制备与室温氢敏性能研究》PDF+DOC2015年第05期 张尤东,潘绪敏,王钊,胡永明,顾豪爽
  • 以铁酸铋(BiFeO_3,BFO)作为压力敏感材料,利用其压电特性,将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等MEMS加工工艺制备的硅基底片相结合,设计工艺流程并制备了BFO纳米纤维压电式压力传感器,得到质量较高的传感器样片.分析工艺流程,得到工艺顺序为先刻蚀硅腔260μm,接着制备电极,再刻蚀硅腔90μm,最后纺丝纳米纤维;在一定条件下纤维取向最优的实验参数是推进速度、电压、接收距离和极板间距分别为0.3 m L/h、19 k V、14 cm和10 cm,为铁电材料在微器件上的应用提供了参考。

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