作者：张利胜,王坤,郑世强 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2018年第01期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2018010130 DOC编号：DOCYQXB2018010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着磁轴承在航空航天、军事及民用工业领域的广泛应用，提高其位移传感器的可靠性成为发展重点。而传统磁轴承用电感式位移传感器的结构复杂、测量电路元器件过多，降低了磁轴承系统的可靠性。针对高转速和小转子磁轴承，设计了一种新型自感式位移传感器，分析了自感式位移传感器的工作原理，提出了优化的传感器结构，设计了对应的测量电路，并对传感器的性能进行了分析与测试。实验结果表明，在-0.5~0.5 mm测量范围内，传感器的线性度为&#177；1.25%，灵敏度为25.94 mV&#183；μm，迟滞为&#177；0.28%，重复性为&#177；0.22%，传感器的动态响应带宽为4.7 kHz，悬浮精度为2.4μm。该传感器完全适用于磁轴承系统，同时传感器结构简单易实现，测量电路得到大大简化，满足航空航天、军事及民用工业领域高可靠性的要求。

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