作者：冯晨,陈文艺,杨辉 单位：中国船舶重工集团公司第七0九研究所 出版：《计算机与数字工程》2018年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSSG2018020310 DOC编号：DOCJSSG2018020319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高相位测量轮廓术中正弦光栅的精度，提出一种基于MEMS微振镜的新型正弦光栅产生方法。采用对矩形光栅叠加的思想，在图像传感器一次曝光过程中，对多幅亮度相同、周期相同、占空比不同的矩形光栅进行光积分，最终输出正弦光栅图像。实验分析表明，相比基于光强调制方式的传统正弦光栅产生方法，该方法解决了非线性失真问题，能够产生更高精度的正弦光栅，具有成本低、体积小、能够通过编程灵活变换光栅图案等优点。

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