作者:李红浪,高星,柯亚兵,程利娜,田亚会 单位:中国科学院声学研究所 出版:《应用声学》2018年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYYSN2018010030 DOC编号:DOCYYSN2018010039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对宽温度范围应变测量的温度干扰问题,提出并研究了基于双谐振器的声表面波应变传感器。理论上,结合微扰理论、有限元方法、有效介电常数法分析出双谐振器频率与应变、温度的关系公式,进而推导出应变与温度关于这两组谐振器频率变化的表达式。实验上,搭建宽温度范围的实验平台,在Y+34?切向的石英基片上制作该传感器芯片,测得传感器芯片在30?C~180?C下的频率响应,将测得的谐振器频率代入表达式计算得到温度与应变值,与实验中参考温度与应变的值基本吻合。

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