作者：陈洪祥,张家正,孙永华 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》2001年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB2001120090 DOC编号：DOCZDYB2001120099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了以硅片为基础 ，采用微机械加工技术与薄膜技术制成的热式质量流量传感器的结构、工作原理及其主要技术特点 ，同时还介绍了以该传感器为核心部件组成的质量流量计与控制器的特点与应用示例。

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