《双波长激光量块干涉仪研制》PDF+DOC
作者:蒋秀兰,祝逸庆,马建敏,傅云霞,蔡明钢,葛爱明,王青,陈磊
单位:上海市计量测试技术研究所;上海市计量测试学会;上海市计量协会
出版:《上海计量测试》2001年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSJLC2001050010
DOC编号:DOCSJLC2001050019
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本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理 ,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术。该干涉仪满足 1等量块的测量不确定度要求 ,目前已用于高等级量块的自动化测量
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