作者：庄庆德,王善慈,陈书旺 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001110210 DOC编号：DOCCGQJ2001110219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了日本微电子机械系统的发展现状。分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势

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