作者：郑惟彬,马以武,刘声雷 单位：中国电子科技集团公司第二研究所 出版：《电子工艺技术》2000年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGY2000010090 DOC编号：DOCDZGY2000010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ ｋＰａ、满量程输出为２５ ｍＶ、非线性小于０ ．２ ％ 、综合精度小于０ ．５ ％ 。

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