作者:席占稳,赖百坛 单位:东南大学 出版:《东南大学学报(自然科学版)》2000年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDNDX2000060080 DOC编号:DOCDNDX2000060089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计》PDF+DOC2003年第01期 陈光焱,苏伟,何晓平 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC2000年第03期 朱目成 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC1995年第01期 费龙,钟先信,温志渝,刘桂雄,高扬 《利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度》PDF+DOC1995年第04期 费龙,钟先信,温志渝,高杨 《硅微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC1995年第05期 费龙,钟先信,温志渝,高扬 《结构新颖的多维加速度传感器》PDF+DOC1994年第03期 卢冶,孙宝元,寿波 《压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真》PDF+DOC2003年第S1期 隋丽,石庚辰 《高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析》PDF+DOC2002年第04期 宋萍,李科杰,石庚辰,卢四华 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC2008年第04期 范树新,耿振亚,聂丽梅 《一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工》PDF+DOC2008年第04期 胡杰,薛晨阳,张文栋,张斌珍,乔慧
  • 针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,灵敏度可提高近 30 % ;对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 1 0 0 0 0gn,有足够的抗过载能力 ,且横向灵敏度足够小 。

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