作者：王建林 单位：上海交通大学 出版：《机械设计与研究》2001年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYY2001020090 DOC编号：DOCJSYY2001020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在纳米科学与技术领域 ，纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。本文设计了一种新颖的以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的纳米定位机构 ，给出了其动力学模型 ，结合纳米传感器微位移检测装置和微机控制系统设计并研制了数字闭环控制的纳米定位系统。实验表明 ：该纳米定位系统行程 10 μm ，定位精度优于&#177； 0 .0 3μm ，定位分辨力 3nm ，最大定位时间 40ms。

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