作者：郭文明,张鸿海,王志勇,汪学方 单位：武汉理工大学 出版：《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》2001年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWHQC2001040070 DOC编号：DOCWHQC2001040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜 (EFM)。利用谐振频率为 32 .76 8kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器 ，它在逼近试件表面过程中 ，振动特性发生变化。通过检测振动幅值的变化 ，并经过信号处理来获得样品表面电荷分布的信息。在分析了EFM检测原理的基础上 ，设计了EFM系统。

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