作者:莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中 单位:上海市化学化工学会 出版:《》 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXSS2000S10500 DOC编号:DOCHXSS2000S10509 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC2001年第01期 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中 《压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试》PDF+DOC2003年第02期 凌行,莘海维,张志明,孙方宏,戴永兵,沈荷生 《硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试》PDF+DOC2001年第04期 蒋庄德,赵玉龙 《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC2009年第02期 王伟,温廷敦 《压力传感器的发展、现状与未来》PDF+DOC2000年第01期 张晓群,吕惠民 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第08期 杨保和,常明,杨晓萍,呈晓国 《金刚石薄膜压阻效应研究现状》PDF+DOC1999年第03期 方亮,王万录,丁培道,廖克俊,王健 《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC1979年第04期 《一种硅微压阻式压力传感器的研究》PDF+DOC2012年第01期 刘珍妮,谭晓兰,杨峻松 《基于AIN绝缘的多晶硅高温压力传感器设计》PDF+DOC2008年第01期 王云彩,孙以材,陈杰,耿青涛
  • 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。本文对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度的压阻型金刚石微压力传感器 ,包括其原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传感器适用于勘探、航空航天以及汽车工业。此外 ,还阐述了金刚石微压力传感器的研究现状 ,并进一步指出目前存在的问题

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