作者：朱目成 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2000年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2000120020 DOC编号：DOCCGSJ2000120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍一种周边固支圆形膜片硅压阻式冲击加速度计的工作原理和结构，以及硅膜片尺寸与传感器输出的计算关系，冲击加速度传感器的电阻设计，及其器件的制作工艺流程。通过冲击试验，证明了该加速度传感器在高加速度作用下的实用性。

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