《基于隧道效应的微机械角速率传感器》PDF+DOC

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2. 《一种新型硅电容式流速流向传感器的设计》PDF+DOC 设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成，这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移，通过四组正交电容来测量位移，从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出。...
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4. 《氧化锌压电薄膜传感器设计理论研究》PDF+DOC 利用压电薄膜和表面微机械技术可实现新型的氧化锌簿膜器件。本文分析了氧化锌薄膜表面微机械器件中氧化锌的压电效应，微机械结构的应力分布，以及压电感应电荷与器件尺寸的关系。这些结果可为器件的设计提供理论依据。...
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