作者:宋美杰 单位:桂林航天工业学院 出版:《桂林航天工业学院学报》2015年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGLHT2015040040 DOC编号:DOCGLHT2015040049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为改进薄膜厚度测量系统传感器检测电路结构复杂、易受干扰等缺点,设计了基于CAV444的电容传感器,详细阐述了测试原理及传感器检测端的电路设计,最终实验结果表明该传感器的薄膜厚度测量精高、抗干扰能力强,能较好的解决转换电路容易受到寄生电容和环境变化的影响,可用于薄膜厚度的在线检测,具有很好的应用前景。

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