作者：白立芬,李庆祥,薛实福,于水 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2000年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2000070130 DOC编号：DOCYBJS2000070139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ，其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ，合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ，以及正确设计传感器的安装角度等措施 ，有效地减小了零点残余电压的影响 ，并消除测量机构本身固有的二次项误差 ，提高了仪器的测量精度。实验表明 ，该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ，重复测量精度为&#177； 0 0 1 5 μm 。

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