作者：鞠辉 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》2000年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX2000020080 DOC编号：DOCGJDX2000020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 尽管大多数工业观察家都预测在未来的5年里微机电系统(MEMS)的销售量将有可能迅速增长，然而，现在只能期望已经建立完善的MEMS生产线，诸如气囊加速计，汽车发动机绝对压力传感器、血压传感器以及热喷墨印刷机头等的销售额会有一定的增长.本文对MEMS的商业机遇做了评估，预测了未来市场的规模，并讨论了未来技术的挑战性。

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