作者:高涛,金玉丰 单位:北京真空电子技术研究所 出版:《真空电子技术》2000年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKDJ2000060110 DOC编号:DOCZKDJ2000060119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文报道了一种由液氮低温吸附泵、真空计、样品室和真空度控制装置等组成的小型真空获得系统 ,体积仅为 2 8cm× 30 cm× 30 cm。系统可连续提供 1 0 - 2 Pa到几百帕量程的真空环境 ,也可扩散到万帕超宽压强范围 ,十分适合于微陀螺传感器的检测和实验研究。 1 0 - 2 Pa的极限真空环境 ,可保持 2 h以上

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