《SnO_2∶Zr薄膜对SO_2气体的光学气敏特性研究》PDF+DOC
作者:汤兆胜,赵强,冯仕猛,范正修
单位:中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所
出版:《光子学报》2000年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGZXB2000030180
DOC编号:DOCGZXB2000030189
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采用双靶反应溅射制得 Sn O2 ∶ Zr薄膜 ,并对它作了 1 5 0°;C下 SO2 气敏光学特性试验 ,首次发现在适当工艺条件下制得的 Sn O2 ∶Zr薄膜在近红外波段 (1 .7~ 3 μm)对 SO2 气体具有明显的光学气敏特性 ,在 2 .65 μm附近透过率上升幅度达 1 0 %左右 .Zr的引入增强了 Sn O2 薄膜对 SO2 的吸附能力 .用二次离子质谱对吸附 SO2 前后的薄膜作了组分相对含量分析 .本实验结果对今后研究高性能 SO2 气敏传感器有一定的价值 。
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