作者:汤兆胜,赵强,冯仕猛,范正修 单位:中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版:《光子学报》2000年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGZXB2000030180 DOC编号:DOCGZXB2000030189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SO_2薄膜气敏传感器光学特性的分析》PDF+DOC2001年第08期 汤兆胜,赵强,范正修,邵建达 《声表面波SO_2传感器的研制》PDF+DOC1997年第02期 秦树基,刘国安,唐宗岳 《酞菁铜薄膜传感器的气敏特性》PDF+DOC1993年第06期 赵湛,游幼 《基于SnO_2薄膜气体传感器的设计与制作(英文)》PDF+DOC2012年第05期 张子立,殷晨波,朱斌,陶春旻 《Cu/Sb掺杂SnO_2纳米晶薄膜的H_2S气敏特性》PDF+DOC2007年第11期 龚树萍,邱原,周东祥 《掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究》PDF+DOC2001年第02期 马黎君,魏京花 《声表面波SO_2气体传感器敏感膜的研究》PDF+DOC2000年第09期 魏培永,朱长纯,刘君华 《WO_3基H_2S气体传感器的研究》PDF+DOC1999年第01期 吴正元,陈涛,丘思畴,吴正华 《PEDT导电聚合物气敏特性研究》PDF+DOC2007年第04期 王勉,谢光忠,太惠玲,蒋亚东 《SnO_2纳米颗粒多孔薄膜气敏传感器对CO气体的敏感性》PDF+DOC2006年第01期 丁占来,王建强,安寸然,任德亮,侯哲哲
  • 采用双靶反应溅射制得 Sn O2 ∶ Zr薄膜 ,并对它作了 1 5 0°C下 SO2 气敏光学特性试验 ,首次发现在适当工艺条件下制得的 Sn O2 ∶Zr薄膜在近红外波段 (1 .7~ 3 μm)对 SO2 气体具有明显的光学气敏特性 ,在 2 .65 μm附近透过率上升幅度达 1 0 %左右 .Zr的引入增强了 Sn O2 薄膜对 SO2 的吸附能力 .用二次离子质谱对吸附 SO2 前后的薄膜作了组分相对含量分析 .本实验结果对今后研究高性能 SO2 气敏传感器有一定的价值 。

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