作者:李岩,傅杰,张书练,韩艳梅,金国藩 单位:西南技术物理研究所 出版:《激光技术》2000年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJGJS2000060000 DOC编号:DOCJGJS2000060009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 阐述了一种新型的He Ne激光位移传感器 ,具有自校准功能以及没有原理上的误差。利用频率分裂技术 ,将一个纵模间隔分为 4个宽度相等的区间 ,在这 4个区间内激光器具有不同的光功率输出。当一个频率移动过这样的一个区间 ,相当于激光器的一个腔镜移动了λ/ 8。可移动的反射镜与被测工件相连。这样 ,一支He Ne激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器 ,其测量范围可达 10mm ,测量精度可达 0 .0 79μm ,并具有判向的功能。

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