作者：邓言文,彭斌,张万里,陈鹏,王睿,姜建英 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2016年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2016030130 DOC编号：DOCYDSG2016030139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺，在AlN薄膜表面设计和制备了兰姆波(Lamb)型谐振器。研究了Lamb谐振器频率特性与频率-温度特性，并与传统的瑞利波(Rayleigh)型谐振器进行对比。测试结果表明，Rayleigh谐振器的谐振频率为305.15 MHz，温度灵敏度为10.74kHz/℃；而Lamb谐振器有7个谐振频率，分别为294.630MHz，398.125MHz，435.625MHz，482MHz，531.625MHz，570MHz和613.625MHz，其温度灵敏度分别为10.63kHz/℃，13.46kHz/℃，16.09kHz/℃，17.51kHz/℃，18.95kHz/℃，20.76kHz/℃和21.86kHz/℃。结果表明，兰姆波型谐振器高阶模式的温度灵敏度最高，达到21.86kHz/℃。

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