作者：吴浩扬,李炳乾,朱长纯,刘君华 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》1999年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG901.0010 DOC编号：DOCBDTG901.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。

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