作者：何秀丽,南金,戴国瑞 单位：信息部电子46所;天津市电子学会 出版：《半导体杂志》1998年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTZ804.0080 DOC编号：DOCBDTZ804.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文总结了气体传感器中微加热器的材料、结构及热特性，列举了常见的几种微加热器，对Ｐｔ加热器和多晶Ｓｉ加热器进行比较，并在此基础上简要介绍了传感器阵列中微加热器的制作及气体传感器阵列的气敏特性。

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