作者:王晓晔,薛实福,李庆祥,徐毓娴,白立芬,于水 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》1998年第01期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM801.0060 DOC编号:DOCGXJM801.0069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 应用有限元法对原子力显微镜(AFM)力传感器进行了力学分析,并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上,对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构,并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。

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