作者：俞朴,张守愚,毕浩然 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》1999年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS1999040110 DOC编号：DOCWXJS1999040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种用于半导体工业领域测量膜厚和表面轮廓的传感器，其分辨率达１ｎｍ 。经计量部门测试，测量范围为&#177；１８０μｍ 时，线性度达０－４ ％ ＦＳ；量程分为四档：量程为１００ｎｍ 时，重复误差为２ ％ 。量程为５００ｎｍ 或１０００ｎｍ 时，重复误差为１％ 。量程为５０００ｎｍ 以上时，重复误差为零。传感器触针对工件的压力在０ ～０－５ｍＮ 间可调。

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