作者:周衍,朱建中,解健芳,陈芬扣,陆德仁,张国雄 单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版:《功能材料与器件学报》1999年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGNCQ1999040030 DOC编号:DOCGNCQ1999040039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 用微机械加工技术制备了微型葡萄糖传感器和钾离子选择电极并将它们集成于同一芯片上。本文设计的锥形微腔陈列结构提供了大批量生产多功能集成生物和化学传感器的可能性。

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