《用离子注入技术制作的砷化镓霍尔传感器》PDF+DOC
作者:夏先齐,茅保华
单位:中国计算机自动测量与控制技术协会
出版:《计算机测量与控制》1999年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJZCK901.0170
DOC编号:DOCJZCK901.0179
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针对器件低内阻下的高灵敏度这一器件特性上的难题,在砷化镓霍尔传感器设计中采用非对称十字形结构。在制作上采用全离子注入平面化技术,获得了在800Ω内阻上大于25mV/mA·;KG的高灵敏度。
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