作者：何树荣,肖宗扬 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》1999年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS903.0000 DOC编号：DOCGXJS903.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种采用ＣＣＤ为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用ＣＣＤ分辨率高、像素均匀的特点，对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化，改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处理流程中的位置前移到光电转换环节，大大简化了后续电路，同时细分数也有大幅度提高，可以方便地实现数千倍的细分。在数据拼接时采用绝对栅距累加的方法，减小了光栅刻线质量对测量精度的影响。整个系统可由计算机通过并行端口进行控制

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