作者：赵光兴,洪彩云,杨国光,陈洪 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1998年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS812.0020 DOC编号：DOCYBJS812.0029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件的振动对蚀刻深度的测量结果有较大影响。给出了振动误差的抑制措施。

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