作者:王佳,路刚 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1998年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ801.0000 DOC编号:DOCCGQJ801.0009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 综合分析了各种纳米位移传感器的特性及灵敏度。通过传感方法和传感结构,运用统一的模型进行定量分析和比较。得出了各种传感器最小检测信号的计算公式及理论值。

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