作者:赵前程,邓善熙,张辉,梁发云 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1999年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS905.0010 DOC编号:DOCYBJS905.0019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 论述了一种新型气动传感器——气针式传感器的静特性。气针式传感器的研制将使气动测量技术用于高精度测量场合成为可能。该传感器的测量范围为±10μm,整个测量系统精度可达±0.09μm.对系统经过进一步完善后,预计测量精度可达±0.05μm.

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