《用于尺寸测量的气针式传感器初探》PDF+DOC
作者:赵前程,邓善熙,张辉,梁发云
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1999年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS905.0010
DOC编号:DOCYBJS905.0019
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论述了一种新型气动传感器——气针式传感器的静特性。气针式传感器的研制将使气动测量技术用于高精度测量场合成为可能。该传感器的测量范围为±;10μm,整个测量系统精度可达±;0.09μm.对系统经过进一步完善后,预计测量精度可达±;0.05μm.
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