作者:张贻恭,刘恩福 单位:辽宁工业大学 出版:《辽宁工业大学学报(自然科学版)》1999年第05期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFLNGX1999050000 DOC编号:DOCLNGX1999050009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 重点论述了一种新型传感器芯片 晶花芯片及由其构成的晶花传感器,探讨了从选晶、切割、非圆晶片、晶轴取向、晶花布阵、绝缘到布线等一系列问题,阐明转换基理和工艺过程,并给出几种典型芯片模式,以及它在大力值测量中的应用。

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