作者：李立杰 单位：东南大学 出版：《电子器件》1999年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1999030050 DOC编号：DOCDZQJ1999030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对Ｓｉ３Ｎ４ 平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜的设计方法和试验结果。

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