《一种新型温湿敏集成传感器研制》PDF+DOC
作者:吴孙桃,周海文,杨松鹤,吴荣华,陈议明
单位:南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所)
出版:《固体电子学研究与进展》1998年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGTDZ1998040020
DOC编号:DOCGTDZ1998040029
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研制成由硅温敏二极管和聚酸亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理、结构设计、制作工艺、测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。
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