作者：于映,陈跃 单位：福州大学 出版：《福州大学学报(自然科学版)》1998年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFZDZ802.0030 DOC编号：DOCFZDZ802.0039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 运用薄膜沉积技术，制作了ＭＩＭ（金属－介质－金属）结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺，并对其性能参数进行了测试

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