发表日期:2010年04期 出版:《机械设计与制造 主管单位:辽宁省机械研究院 作者:马如奇,郝双晖,郑伟峰,郝明晖,宋宝玉 页数:3页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9JSYZ2010040400 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:8034 论文引用次数:254

分析了划片机自动对准系统的构成和工作原理,提出模板匹配的简化算法,从边缘检测处理后的图像中提取晶圆切道,通过直线拟合得到晶圆切道中心线,完成晶圆的定位。matlab的仿真与实验结果表明,该自动对准方案能有效地识别晶圆中的切道,确定切道的位置偏差,满足晶圆自动对准的技术要求。

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