超纯水用于电子工业、电厂高压锅炉、制药等。水的电阻率要求接近18MΩ·cm，电解质含量10～20μg/L，水的纯度为99.99999％。超纯水的制备一般包括预处理、除盐及后处理三道工序，目前反渗透（RO）、离子交换（DI）和超滤（UF）联合技术是超纯水制备最佳系统。反渗透能除去90％以上的总溶解盐、95％以上的溶解有机物、98％以上的微生物及胶体。超滤和微滤（MF）可将系统中产生的微粒、细菌除去，有效地保证终端用水的水质。从超纯水制造的典型的超纯水制造工艺流程（图3－4－20）和基本流程（图3－4－21）可见，膜技术在超纯水制造中至关重要。预处理通常是由凝聚、过滤和杀生组成的，近年来以微滤、超滤来替代，大大简化预处理过程。

图3－4－20 典型的超纯水制造工艺流程

超纯水制造中RO膜以聚酰胺螺旋卷式组件为主，在操作压力为1.47MPa的低压下可除盐99.5％以上。二级纯水系统要求能脱除TOC的复合膜。

图3－4－21 超纯水制造的基本流程

1—过滤装置；2—反渗透膜装置；3—脱氯装置；4，9—离子交换装置；

5—紫外线杀菌装置；6—非再生型混合床离子交换器；7—UF过滤膜装置；

8—用水点；10—紫外线氧化装置；11—活性炭过滤装置