作者：P.I.Oden,贡树行 单位：中国科学院上海技术物理研究所 出版：《红外》1998年第04期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWAI1998040000 DOC编号：DOCHWAI1998040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用微悬梁器技术**证明对微机械光学和红外的探测是可行的。微悬梁器技术提供了一个简单的方法来研制单元和多元传感器，用于可见光和红外辐射的探测。这类传感器与量子探测器或热探测器比较起来，体积更小，灵敏度更高，成本更低。表面镀着一层热吸收层的微悬梁器会弯曲，这是由双金属效应产生的不均匀应力所引起的。微悬梁器的弯曲程度取决于吸热总量，并可利用光学方法或电学方法探测出来，例如可利用在压阻悬梁方面的电阻变化进行探测。微悬梁传感器有两个独特的热响应时间常数：快的一个(τ_1(热)&lt；1ms)和慢的一个(τ_2(热)～10ms)。测出这种器件的噪声等效温差NEDT=90 mK。当未镀吸收层的微悬梁器受到一束低功率二极管激光(波长λ=786 nm)的辐照时，发现噪声等效功率NEP=3.5 nW/Hz~(1/2)，相当于调制频率为20 Hz时的比探测率 D~*= 3.6&#215；10~7cm&#183；Hz~(1/2)/W。

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