作者:刘超,汪发美,吕靖薇,顾雪平,杨琳,牟海维 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2016年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2016030050 DOC编号:DOCCGQJ2016030059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 以拓宽Ag膜波长调制型表面等离子体共振(SPR)传感器的工作波长区间,将Ti O_2膜沉积于Ag膜表面制成Ag-Ti O_2复合薄膜。利用数值计算方法对不同厚度Ag膜和Ag-Ti O_2复合膜波长调制型SPR光谱特性进行仿真研究。仿真结果表明:共振吸收峰显著依赖于Ag膜厚度;当保持Ag-Ti O_2复合膜厚度60 nm时,复合薄膜SPR波长随Ti O_2厚度的增大而向长波长方向移动,发现红移;与60 nm厚Ag膜共振波长相比,12 nm厚Ti O_2与48 nm厚Ag组成的复合膜共振波长红移超过200 nm。

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