作者：刘冬春,齐轩琴,吴小津,郑义忠 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》1998年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS812.0020 DOC编号：DOCJLJS812.0029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例，简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。

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