《一种新型高灵敏度光电微压传感器》PDF+DOC
作者:郑为民,钱浚霞
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》1997年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB704.0090
DOC编号:DOCYQXB704.0099
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本文介绍一种高灵敏度光电微压传感器。它采用线性膜盒为敏感元件,以发光二极管和大面积硅差分光电二极管为光电元件,利用遮挡式光电变换结构,将检测所得的膜盒微量位移信号,通过电子线路和单片机处理,直接显示压力。传感器采用差动补偿和光反馈稳定等措施,消除光源波动及环境温度变化的影响,具有很好的稳定性。在未经微机校正时,传感器在0~6000Pa范围内,非线性误差小于0.3%,分辨力优于20Pa。
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