作者：万德安,孔健 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1999年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG903.0180 DOC编号：DOCYDSG903.0189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以激光自聚焦伺服原理为基础研究高精度的测微新方法，具有分辨率高，结构轻巧，动态响应快，非接触测量及价格低廉等优点，能够广泛方便地应用在各种位移、振动、变形及产品质量的尺寸检测等领域，测量精度可稳定达到０．１μｍ，自聚焦伺服测量范围可达－１０μｍ～＋１０μ

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