作者：高钟毓,赵长德,张嵘,董景新 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》1998年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB811.0010 DOC编号：DOCQHXB811.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求，以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感元件的体硅溶解薄片法制造工艺。从热噪声和电噪声两方面分析了这种加速度计的精度极限，相对于当地重力加速度应该能达到１０－５。但是，试验样机的初步实验结果表明，目前精度只有１０－２～１０－３，因此，还有巨大潜力。

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