《声表面波力敏传感器的研究》PDF+DOC
作者:李源,冯冠平,丁天怀
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1997年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS705.0000
DOC编号:DOCYBJS705.0009
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本文分析了声表面波(surfaceacousticwave简称SAW)力敏传感器加载后,频率稳定性变差的原因。在此基础上,设计了一种新型的采用等应力加载的力敏传感器,计算了该传感器的灵敏度,并给出了该传感器的频漂实验和力—频特性实验结果,为传感器的实际应用打下了基础。
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