作者：周剑,侯占强,肖定邦 单位：国防科学技术大学科研部 出版：《国防科技》2015年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGFCK2015040040 DOC编号：DOCGFCK2015040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 极端环境下压力传感器在喷气发动机、火箭、导弹、卫星等国防军工领域有着广阔的应用前景。首先对国内外可应用于极端环境压力传感器的关键技术：SOI制造技术、溅射薄膜技术、金刚石薄膜技术、声表面波无线无源传感技术、Si C高温压力传感技术及其应用情况做回顾论述，并针对各自的主要优缺点进行对比分析和讨论，最后展望了极端环境压力传感器的发展趋势。

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